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        激光干涉測速儀有兩個主流類型

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          激光干涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的有效手段之一。激光干涉測速儀基于光學多普勒效應,全部采用單模光纖傳輸光信號,利用光學干涉混頻技術獲得物體的連續速度信息,整個系統采用全光纖連接,不僅提高系統的穩定性、減小體積,而且由于采用高性能的單模光纖,使系統的響應時間不再受限于光纖色散,可實現50ps量級時間分辨率的速度測量。
          具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
          激光干涉測速儀有很多應用,但本質都是測量中學課本講的“位移”,諸多應用都是“位移”的延伸和轉化。有兩個主流類型:單頻激光和雙頻激光。
          單頻能做的雙頻激光干涉儀都能做,但雙頻能做的單頻不見得能做。由于歷史、技術和商業原因,兩種測速儀都有著廣泛應用,但在光刻機上,雙頻激光市場更大。
          單頻不需要對市場上的氦氖激光器進行改造,直接可用。但雙頻激光用的激光器需要附加技術使其產生雙頻(兩個頻率)。雙頻激光測量位移的速度不及單頻激光,自從發明了雙折射-塞曼雙頻激光器,雙頻激光的測量速度也達到每秒幾米,與單頻激光器看齊了。

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